半导体工艺设备

• 氧化/扩散/退火

  • 立式炉

  • SiC高温氧化炉

  • SiC高温退火炉

  • 卧式炉

• CVD设备

  • 立式LPCVD

  • 卧式LPCVD

化合物晶体设备

• SiC单晶生长设备

  • PVT法长晶炉

  • 液相法长晶炉

  • 籽晶粘接设备

• GaN单晶生长设备

• Ga2O3单晶生长及外延设备

  • 导模法长晶炉

  • 垂直布里奇曼法（VB）炉（非铱技术）

  • HVPE外延炉

• 金刚石单晶生长设备

• GaAs / InP 单晶生长设备